一种新型的微机械电子隧穿加速度计
介绍了一种新型的微机械电子隧穿加速度计,利用体硅微机械加工工艺和硅/玻璃静电键合技术成功研制出了一种三明治结构的隧穿加速度计。为了有效减小低频噪声,在反馈回路里加入了振荡器和解调器。测试结果表明,目前样品的分辨率约为10^-6g/-√Hz,抗冲击能力达到50g。
采用微处理机对变量液压泵的扩充控制
讨论了微处理机在变量液压泵反馈回路中的应用.对四种常见的控制方式作了研究,这些控制方式通常是用各种不同的控制器实现的,微处理机和控制用步进电动机结合,能够满足液压泵在所有四种控制方式中的工作,从而大大增加了液压系统的通用性.
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