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光栅回转式压电微角度执行器的研究

作者: 张立 林玉池 赵美蓉 齐永岳 秦峰 来源:传感器与微系统 日期: 2022-06-20 人气:1
光栅回转式压电微角度执行器的研究
介绍了一种基于圆光栅检测的回转式压电微角度执行器,采用尺蠖运动原理设计回转式压电电动机,运用C8051F005单片机产生四路控制信号,并采用直流放大式驱动电源放大控制信号驱动压电电动机,并通过圆光栅检测系统实时测量电动机联动盘回转角度,把测量值引入控制环节,实现最小步距为2.26”的全圆周匀速连续转动。
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