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EMX-SM型电子探针波谱仪的调整原理和方法
作者:
陈方玉
许竹桃
来源:
金属制品
日期: 2022-07-15
人气:6
以EMX-SM型电子探针传动机构、分光晶体和谱仪板的调节部件为基础,建立晶体直进波长正比谱仪的失调模型,经过解析,获得反映谱仪状态的直线束方程,推导出聚焦圆正偏离和负偏离判据,得到波谱仪调整方向和具体步骤,结合实例详解谱仪实际调整过程。
关键词:
电子探针
波谱仪
分光晶体
聚焦圆
直进正比
X射线
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