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X光能谱仪液氮杜瓦瓶真空恢复技术

作者: 金鹤岭 马宏海 来源:电子显微学报 日期: 2022-07-21 人气:3
X光能谱仪液氮杜瓦瓶真空恢复技术
扫描电镜中X光能谱仪的重耍组成部分鲤漂移硅si(Li)探测器及爆效应晶体管需要用液氮冷却,目的是防止握漂移硅中的握反向扩散和降低热噪音。杜瓦瓶内的液氮通过一个称为冷指的金属棒使塌效应晶体管和探测器冷却。杜瓦瓶长期使用后具空度将自然下降,液氮消耗量增加,不仅增加保养负担,也会影响仪器的使用性能,必须及时恢复其真空度。若返原厂修复,费用昂贵。我们利用实验室现有的具空喷镀仪的具空系统对杜瓦瓶重抽具空,实践证明,效果很好。
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