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> 细光束干涉术
大口径高次非球面高精度面形检测方法探讨
作者:
张孟伟
陈洪斌
来源:
光电工程
日期: 2023-04-23
人气:2
总结了常用非球面光学元件的检验方法的分类及其特点,提出了满足大口径高次非球面的高精度检测方法的基本要求,重点分析了细光束干涉测试方法及其在大口径非球面高精度检测方面的应用.
关键词:
面形测量
非球面
细光束干涉术
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