在高功率固体激光装置要求的所有平面透射光学元件中,熔石英材料的屏蔽片是光学冷加工难度最高的元件之一,加工要求为单次透射波前畸变为λ/6(λ=632.8 nm).其外形尺寸径厚比大于301,远远超出普通光学元件径厚比小于101的要求.由于径厚比大,所以光学元件在加工和测量的过程中很容易受到重力、装夹力等的影响而变形,影响加工和检测的精度.介绍了采用新兴的数控加工技术有效的避免了加工过程中各种装夹力、重力对面型的影响;通过优化参数,加工效率也得到了有效的提高.

抛光盘去除函数的确定是数控抛光技术的应用基础，以Ｐｒｅｓｔｏｎ方程为基础，应用运动学原理推导了抛光盘在行星运动及平转动两种运动方式下的材料去除函数，并通过计算机模拟出相应的工作特性曲线。结果两种运动方式下工作特性曲线均在不同程度上趋近于高斯曲线。因而行星运动及平转动都可作为抛光盘的运动方式应用在ＣＣＯＰ中，使加工中的面形误差得到收敛。