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高精度大口径平面镜瑞奇-康芒定量检测方法研究

作者: 田秀云 吴时彬 伍凡 陈强 吴永前 来源:光学技术 日期: 2022-09-12 人气:4
高精度大口径平面镜瑞奇-康芒定量检测方法研究
瑞奇-康芒法是检测大口径平面时的行之有效的方法。由于被检平面处于发散光路中,这就使得平面面形与系统波像差之间的关系(即影响函数)变得十分复杂,推导起来十分困难,故长期以来该方法只能作为一种定性或半定量的检测手段。给出了数学算法,推导出了被检平面镜面形误差与检验系统波像差之间的相互关系,实现了瑞奇-康芒的定量检测。
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