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> 瑞奇-康芒检验
高精度大口径平面镜瑞奇-康芒定量检测方法研究
作者:
田秀云
吴时彬
伍凡
陈强
吴永前
来源:
光学技术
日期: 2022-09-12
人气:4
瑞奇-康芒法是检测大口径平面时的行之有效的方法。由于被检平面处于发散光路中,这就使得平面面形与系统波像差之间的关系(即影响函数)变得十分复杂,推导起来十分困难,故长期以来该方法只能作为一种定性或半定量的检测手段。给出了数学算法,推导出了被检平面镜面形误差与检验系统波像差之间的相互关系,实现了瑞奇-康芒的定量检测。
关键词:
瑞奇-康芒检验
定量检测
影响函数
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