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大型非球面反射镜的柔性光学制造技术

作者: 杨力 郑耀 曾志革 姜文汉 袁家虎 伍凡 来源:光学技术 日期: 2022-09-17 人气:4
大型非球面反射镜的柔性光学制造技术
提出了柔性光学制造技术(FOMT)的概念.介绍了计算机控制小工具抛光(CCOS)和计算机控制应力盘(CCSL)抛光的技术特点;讨论了CCOS在抛光过程中的工艺技术优化方案;给出了应力盘变形的数学物理模型及在周边12个驱动器的作用下应力盘全口径和80%口径范围内的变形仿真结果;研究了在全口径φ500 mm盘上的工程实现途径及应力盘与机床CNC的通讯关系以及抛光工艺研究;分析了CCOS、应力盘抛光和经典法抛光技术的综合运用;探讨了柔性光学制造技术发展的必然趋势.
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