叙述了当前惯导领域应用最广的力平衡式加速度计、石英振梁加速度计和单晶硅微加工加速度计发展概况,分析了它们的工作原理和结构特点.提出了在力平衡式加速度计发展较为成熟的基础上,在中高精度领域应优先开发石英振梁加速度计技术,在中低精度领域应大力发展单晶硅微加工加速度计技术.

线加速度计是惯性测量和导航系统的主要惯性元件之一，当前，传统的力再平衡摆式加速度计占据加速度计的主要市场，对加速度计输出数字化的迫切要求，推动了石英振梁式加速度计的发展。随关微电子加工技术向惯性技术的渗透，微硅加速度计已崭露头角并受到广泛的关注。