碧波液压网 欢迎你,游客。
登录
注册
菜单
门户
文章
液压传动
气压传动
机械工程
测量与控制
期刊
介质与基础理论
液压件与机具
工业液压传动
液压控制技术
水压与液力传动
车辆与工程机械
气动与密封
故障诊断与检测
现代设计方法
机械工程
教程
手册
液压设计手册
机械设计手册
机械设计计算手册
表面工程技术手册
新版机器人技术手册
其它
论坛
登录
注册
门户
>
关键词文章列表
> 微机械器件
微机电系统的进展分析与研究
作者:
刘晓斌
来源:
机械研究与应用
日期: 2023-08-08
人气:1
系统分析了微机电系统的概念、特点及国内外先进的微机电系统的典型器件和典型系统,微机电有别于其它制造业的独特的加工工艺,以及微机电系统在当今社会的各个领域的广泛应用.介绍了我国在发展微机电系统所做的努力.提出我国必须走研究与应用并重的道路,使微机电系统的研究走向产业化,才能为我国在微电子工业的第二轮国际竞争中争取到应有地位.
关键词:
微机电系统
微机械器件
加工工艺
产业化
点击阅读
共1页/1条