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微机电系统的进展分析与研究

作者: 刘晓斌 来源:机械研究与应用 日期: 2023-08-08 人气:1
微机电系统的进展分析与研究
系统分析了微机电系统的概念、特点及国内外先进的微机电系统的典型器件和典型系统,微机电有别于其它制造业的独特的加工工艺,以及微机电系统在当今社会的各个领域的广泛应用.介绍了我国在发展微机电系统所做的努力.提出我国必须走研究与应用并重的道路,使微机电系统的研究走向产业化,才能为我国在微电子工业的第二轮国际竞争中争取到应有地位.
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