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纳米测量机工作台导轨高精度误差分离原理

作者: 杨洪涛 费业泰 陈晓怀 来源:上海交通大学学报 日期: 2022-12-10 人气:1
纳米测量机工作台导轨高精度误差分离原理
为了高精度分离与修正纳米测量机工作台直线度运动和角运动误差引起的阿贝误差,介绍了一种利用速度瞬时中心进行分离的方法,推导了工作台在任意时刻的速度瞬时中心坐标计算公式,根据该公式计算出由于直线度引起的工作台上任意测量点的坐标测量误差.从原理上设计了直线度误差分离与修正的实验方案,解决了传统阿贝误差分离与修正方法中以旋转中心为工作台中心点、阿贝臂长度计算不准确的问题.
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