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梳齿式微加速度计闭环系统性能的分析与优化

作者: 吴天准 董景新 刘云峰 赵长德 来源:仪器仪表学报 日期: 2022-12-09 人气:4
梳齿式微加速度计闭环系统性能的分析与优化
为定量研究梳齿式微加速度计闭环系统的性能和参数设计准则,通过静平衡方程得到闭环系统输出公式,由此公式推导出灵敏度、最大预载、最佳预载、量程、稳定性、线性度、分辨率等公式。分析了机械和电气参数变化对性能的影响,根据性能指标提出参数的优化准则和设计公式。
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