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梳齿式微加速度计闭环系统性能的分析与优化
作者:
吴天准
董景新
刘云峰
赵长德
来源:
仪器仪表学报
日期: 2022-12-09
人气:4
为定量研究梳齿式微加速度计闭环系统的性能和参数设计准则,通过静平衡方程得到闭环系统输出公式,由此公式推导出灵敏度、最大预载、最佳预载、量程、稳定性、线性度、分辨率等公式。分析了机械和电气参数变化对性能的影响,根据性能指标提出参数的优化准则和设计公式。
关键词:
微机电系统
梳齿式微加速度计
性能分析
量
程
稳定性
线性度
分辨率
参数设计
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