研究氮化硅尖在十八烷基三甲基氧硅烷（ＯＴＥ）／云母表面的修饰过程。使用原子力／摩擦力显微镜。以云母作为参考样品，研究了针尖在样品表面的修饰效应和修饰后针尖的清洁过程，并考察了湿度和载荷对针尖修饰效应的影响。修饰过程不是一个渐进的过程，在最初几次摩擦扫描中修饰较快，然后在１０－２０次扫描后达到平衡态。在ＯＴＥ／云母表面修饰后的针尖在云母表面的摩擦力信号比修饰前针尖在云母表面摩擦力信号小，并且大部分吸