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> 飞秒激光酸刻蚀法
微透镜阵列制作技术研究
作者:
甘代伟
来源:
装备制造技术
日期: 2023-11-07
人气:6
详细介绍了光刻胶热熔法、光敏玻璃热成型法、离子交换法、飞秒激光酸刻蚀法等4种比较实用的制作微透镜阵列的方法,阐述了其原理,分析了各自的优缺点。
关键词:
微透镜阵列
光刻胶热熔法
光敏玻璃热成型法
离子交换法
飞秒激光酸刻蚀法
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