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微透镜阵列制作技术研究

作者: 甘代伟 来源:装备制造技术 日期: 2023-11-07 人气:6
微透镜阵列制作技术研究
详细介绍了光刻胶热熔法、光敏玻璃热成型法、离子交换法、飞秒激光酸刻蚀法等4种比较实用的制作微透镜阵列的方法,阐述了其原理,分析了各自的优缺点。
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