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> 膜厚监控仪
宽光谱膜厚监控仪的研制
作者:
周鹏飞
陈桂莲
张荣福
来源:
光学仪器
日期: 2023-03-11
人气:1
在介绍宽光谱膜厚监控原理和评价函数的基础上,重点介绍了系统硬件和软件组成,最后给出该仪器的实验结果并对其精度进行分析。
关键词:
宽光谱
镀膜
CCD
膜厚监控仪
研制
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