单频激光干涉仪采用整体式的布局，提高了测量系统的稳定性和灵敏度，光程差放大技术，提高了系统的分辨率，利用偏振光移相和共模抑制的方法，对干涉仪的4路相互正交的信号进行差分处理，减小光强零漂以及环境变化对系统的影响，最终通过误差补偿修正处理，系统可以获得高质量的输出信号。

这种单频激光干涉系统采用共光路设计布局,通过偏振分束器以及1/4波长片等光学器件对干涉条纹进行空间移相,提取相位依次相差90°的三路干涉输出信号,进行比较放大,解决了常规单频激光干涉仪中的光强"零漂"问题.利用共模抑制技术,提高了干涉系统的测量稳定性和重复性.采用光程差放大技术,提高了干涉系统的分辨力.