给出了三自由度并联机构坐标测量的运动反解模型，依据矩阵全微分理论，导出测头位姿误差与各运动副位置误差及调节器运动误差之间的相互关系，建立了新型坐标测量机的误差模型。通过计算机仿真，讨论了机构参数误差对测量结果的影响，为实际误差的补偿与控制奠定了理论基础。