在自适应光学系统中，高精跟踪回路的闭环误差由未完全补偿的跟踪残余误差和倾斜噪声误差组成。利用高精跟踪回路闭环残余倾斜数据和电压数据，可以计算高精跟踪回路的跟踪残余误差、倾斜噪声以及开环倾斜误差。基于此种方法对1．2m望远镜61单元白适应光学系统中高精跟踪回路的性能进行了在线分析。分析结果表明，系统引入的噪声随着所观测恒星星等的增加而增加．

介绍了用于复合轴式光电精密跟踪的双X-Y轴FSM控制系统,即增加了与原X-Y控制轴成90°的2个虚轴,以实现对误差变化量的控制.仿真测试表明该子系统可以对主系统高频噪声进行有效抑制,较单X-Y轴控制精度提高了6″.