给出了多学科层级优化算法模型，对梳齿式微加速度计的结构参数进行了优化设计，对优化前后的梳齿式微加速度计进行了有限元仿真分析。优化设计结果表明，微加速度计的工作性能有明显提高．有限元仿真分析结果验证了多学科层级设计优化方法的有效性。