提出一种外差干涉非线性误差修正方法,采用混频技术将光频信号降低到通用数据采集系统频率响应范围内;采用高速数据采集板实现外差干涉测量信号和参考信号双通道同步实时采集;对采集数据进行光滑处理,滤除高阶非线性误差;解出位移量对应的相位差.试验结果表明,所提出的修正方法可以较好地修正双频激光干涉仪中存在的非线性误差,使外差干涉仪测量不确定度由原来的20nm降低到10nm.

汽车衡数据采集板确定作为汽车衡称重装置制备的一个重要环节,关系到整个采集系统的响应速度及精度等重要性能指标.本文给出了动态电子汽车衡数据采集选板的选择原则、工作原理、数据采集的方式,通过对采集板数据采集的数学理论描述的分析研究,给出了数据采集板采样、量化、编码的基本理论.为汽车衡数据采集板的开发设计和选用提供参考.