基于伺服控制理论,介绍一种新型超精密直线运动工作台.精密工作台的底部和四周共设置九个主动空气支承,普通机械导轨拖动,除运动方向外其余五维位置姿态由两只四光束激光探头进行测量,并将测量值送控制器与目标值比较,驱动压电陶瓷致动补偿空气膜厚度随外部干扰变化对运动精度的影响.系统固有误差作预处理后,运动精度主要取决于传感器的精度而得到有效的提高.