讨论了大行程纳米级分辨率超精密工作台设计中的关键技术，介绍了目前国内外典型的大行程超精密工作台所采用的设计方案、材料、导轨、驱动方式、测量反馈及控制系统。分析比较后得出：利用石英陶瓷材料、气浮导轨、直线电机非接触驱动、纳米光栅尺测量反馈和开放式数控系统等技术来组建大行程纳米级分辨率超精密工作台是比较理想的方案。

为评价超精密工作台自标定过程中由随机测量误差引起的标定不确定度，提出了基于Monte Carlo模拟的自标定不确定度定量评价方法。该方法以自标定算法的最大不确定度放大倍数为评价指标，通过根据算法输入参数联合概率密度函数的大量随机抽样，以及对算法输出样本的统计来完成。仿真表明：该方法具有较好的通用性及可靠性，可在自标定方案设计阶段，有效地评价所使用算法的合理性，这对于超精密工作台自标定算法的设计及选择具有指导意义。