为了优化中小型圆形反射镜在加工、镀膜、装调等阶段的检测中所需的支撑结构，以v型块支撑工作原理设计了支撑位置及支撑点夹角均可调整的分体式支撑。利用有限元方法得到TMA系统中φ136mm非球面次镜面形随支撑点夹角的变化趋势，并根据趋势曲线，确定支撑点夹角为100。状态下，分体式支撑结构引起的镜面面形变化最小（RMS=0．57nm）。利用干涉仪结合补偿器的检测方式，对分体式支撑在不同的支撑点夹角下的镜面面形进行检测。所得结果与有限元方法得到的镜面面形随支撑点夹角变化趋势与试验结果相符，且在100。时分体式支撑引起的镜面面形变化（RMS=0．015wave）明显优于其他角度。再以不同的镜坯材料及反射镜直径尺寸进行仿真对比，结果表明：镜面面形随支撑点夹角的变化趋势与反射镜材料和尺寸无关，趋势曲线幅值随材料弹性模量和...

为实现用小口径面形干涉仪完成对大口径光学镜面面形的检测，发展了斜入射检测方法，增大投射到待测镜上光斑的尺寸，从而增大干涉仪检测的镜面口径范围。推导了斜人射法检测平面反射镜面形的公式，并考虑了此方法可能引入的误差。对尺寸为124mm×42mm的平面反射镜分别在垂直和不同斜入射角条件下进行了测量，垂直入射时测得镜子工作表面面形起伏高度均方根（RMS）和峰谷（PV）值分别为16．3nm和67．8nm，斜入射时测得镜子工作表面的面形起伏高度RMS和PV值分别为16．8nm和68．7nm，相对误差分别为3％和0．9％，可以满足第三代同步辐射光束线的要求。

光学镜面在重力的作用下,会产生镜面变形,这种变形包括刚体位移和表面变形,将对光学系统的成像品质产生不同的影响。文章通过Matlab软件,对有限元分析后的数据进行处理,用Zernike多项式精确拟合变形后的镜面面形,并在Matlab中绘出镜面面形云图,最后计算出表面变形的表面变形均方根和表面变形最大值与最小值之差。实例计算表明,该方法能将镜面变形的刚体位移和表面变形分离,适合于光学自由曲面的镜面面形精度分析。