碧波液压网 欢迎你,游客。
登录
注册
菜单
门户
文章
液压传动
气压传动
机械工程
测量与控制
期刊
介质与基础理论
液压件与机具
工业液压传动
液压控制技术
水压与液力传动
车辆与工程机械
气动与密封
故障诊断与检测
现代设计方法
机械工程
教程
手册
液压设计手册
机械设计手册
机械设计计算手册
表面工程技术手册
新版机器人技术手册
其它
论坛
登录
注册
门户
>
关键词文章列表
> 任意等分
圆刻机智能控制系统
作者:
陈林
叶林
来源:
光学仪器
日期: 2024-11-08
人气:3
应用计算机技术,对圆计量光栅刻划过程的自动控制进行研究,介绍了微机控制细分刻划的原理和该智能控制系统的结构。并且叙述了多种任意等分光栅盘的刻划方法。
关键词:
任意等分
圆光栅
光刻机
控制系统
点击阅读
共1页/1条