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圆刻机智能控制系统

作者: 陈林 叶林 来源:光学仪器 日期: 2024-11-08 人气:3
圆刻机智能控制系统
应用计算机技术,对圆计量光栅刻划过程的自动控制进行研究,介绍了微机控制细分刻划的原理和该智能控制系统的结构。并且叙述了多种任意等分光栅盘的刻划方法。
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