根据夫朗和费单缝衍射原理, 以激光作光源, 采用线阵 CCD 获取衍射条纹图像, 实现同轴度误差的非接触自动测量. 通过对比测量和精度分析表明该方法测量精度高, 测量装置结构简单, 具有实用价值.