论述新型激光测量仪OFV-5000的测量原理和方法，分析x—y工作台定位误差的构成，指出滚珠丝杠的螺距误差是影响工作台定位精度的主要因素，结合实验室的具体情况设计了一种x-y工作台定位误差的动态测量方法。在分析定位误差的基础上，提出采用前馈补偿方法减小定位误差，并通过实验证明前馈补偿对提高系统定位精度非常有效。