针对小零件的平面度误差测量及数据分析处理,提出了一种新的测量方法.首先采用高精度涡流位移传感器对小零件的平面进行连续测量,然后利用遗传算法对数据进行处理,求出较精确的平面度误差值.这种方法提高了测量精度和速度,符合现代测量所提出的自动化和高精度的要求.