针对步距规测量过程中正反向差较大的问题,利用赫兹压力理论分析了测头测力引起的弹性压缩变形,研究表明,由于校准探针用标准器与组成步距规的量块的材质和形状的不同,其弹性压缩变形量存在差异,成为引起正反向差的一个较大分量,通过选择合适的探针校准用标准器,使其符合测量中的一致性原则,可以有效减小步距规的测量不确定度。