作为应用于第三代同步辐射光源的一种重要X射线元件，复合折射透镜成为近年来X射线光学研究的热点之一。平面抛物形折射透镜是复合折射透镜的重要一种。研究过程中，考虑到X射线衍射仪的特定检测环境及随后加工上的技术要求，优化设计了透镜各个参数，用ZEMAX软件对透镜进行光线追迹，模拟验证了设计结果。单组透镜的几何孔径为250μm，焦距为30cm。共设计30组透镜，透镜个数从1个变化到30个，相应的抛物形顶点处的曲率半径从1．23μm变化到37μm。在光子能量为8．05keV条件下，透镜的理论透过率从43．3％变化到33．2％。焦斑直径均在微米量级。采用紫外光刻微加工技术，制作了SU-8光刻胶平面抛物形折射透镜。透镜厚度为224μm。透镜光学性能的测试正在进行中。

为解决微流体在微流控芯片上的单向流动，进而实现生化反应的片上系统，采用微机电系统（MEMS）技术加工出SU-8胶微型阀片．SU-8胶阀片具有弹性模量和弹性常数低、开启压力小、反向泄漏小、易于加工等特点．从理论上分析了不同厚度（10μm，15μm，20μm，25μm）的微型阀片在不同压力作用下的挠度和应力分布，在相同尺寸和压力下，SU-8微阀片的挠度与传统的硅阀片的挠度相比要大10倍左右．讨论了有阻尼作用下的谐振频率以及过流特性。可知阀臂和阀座的尺寸是影响阀片性能的主要因素．给出了加工工艺，测试了阀片的正反向过流性能，以水作为工作物质，得到3种厚度阀片的过流曲线，其最大正向流速达到7000μL／min．

为了解决制备空心微针工艺复杂且成本高的问题，本文提出了采用湿法刻蚀、光刻和电镀结合的方法制备低成本空心金属微针．首先采用湿法刻蚀硅，得到280μm深的倒四棱锥锥坑；然后在锥坑上甩200μm厚的负胶SU-8填充锥坑，并通过曝光显影负胶形成微针的形貌；最后在曝光显影后的负胶上电镀50μm厚的镍得到所需形状的空心金属微针．用此方法制备的空心微针高度为350μm、壁厚为50μm，其针尖形状为三棱锥和四棱锥．通过有限元仿真分析微针强度与微针结构尺寸的关系．用此方法加工出的微针具有锥形尖，改善了刺入皮肤的效果．

为了提高微驱动器的性能，提出了一种在氧化铟锡（ITO）玻璃上加工高深宽比SU-8微结构的方法．在导电玻璃的ITO层上涂覆一薄层AZ-4620正光胶，用常规的接触式曝光法，将光刻掩模上的二维图形转移到A二4620光胶层上，显影后利用ITO玻璃的导电性，在AZ-4620光胶曝光处电沉积镍，原掩膜图形可保真地转移到ITO玻璃表面的镍镀层上，使紫外光透过ITO玻璃基底进行反面曝光，从而保证了光刻掩模与SU-8光胶层间的完全接触，消除了厚光胶层表面不平在曝光时的散射和基片材料的反射影响，成功制备了深宽比为16、侧壁垂直度为89．5。的微结构．本方法使用设备简单，加工成本低．