原子力显微镜阳极氧化加工的机理研究
介绍了使用原子力显微镜在电场作用下诱导表面局部阳极氧化反应的机理，分析了偏置电压、氧化物厚度对氧化物生长速度的影响，以及湿度和电压对氧化物的尺寸的影响，指出了现阶段AFM纳米加工技术的不足，并对未来的AFM纳米加工技术进行了展望。
AFM在纳米结构加工中的应用研究
文中阐述了基于自行研制的原子力显微镜(AFM)的纳米刻蚀加工方法,研究了针尖上的载荷大小和扫描次数对加工深度的影响,利用AFM的微探针在氧化铝(Al2O3)材料表面加工出纳米结构,验证了该加工方法的可行性.实验结果表明基于AFM的纳米刻蚀技术可作为加工纳米器件的重要手段.
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