为了监控GaAs光电阴极的制备过程,设计了一套应用CAN总线的GaAs光电阴极制备测控系统,系统由USB-CAN转换器、多信息量测控设备和计算机等组成,可在线实时测试阴极制备过程中的光电流、真空度和铯(氧)源电流信息,或由计算机控制铯(氧)源电流的大小和通断。该系统具有结构简单、可靠性和性价比高的特点,具有良好的应用前景。