2000年1月，在北京中国计量科学研究院进行了由瑞士联 邦计量局（OFMET）主持的纳米样板——一维光栅的国际比对。运用两种激光器，利用李特 洛( littrow)衍射法对光栅栅距进行了精确测量，并对测量结果的合成标准不确定度作了详细分 析。

本文介绍了纳米测量系统的组成和纳米样板的研究现状,讨论了AFM探针诱导局域氧化工艺的原理及其影响参数,用该方法进行了一维纳米结构样板的制备,并对实验结果进行了分析.