本文介绍了基于光聚焦探测法的表面粗糙度非接触测量系统。该系统特别适合于接触测量易引起表面损害的软材料,如橡胶、纸张、磁带;硬材料,如硬金属、陶瓷;以及软材料覆盖表面,如磁盘等

介绍了一种非接触式的表面三维形貌测量系统，该系统采用了光学离焦原理中的象散法，从激光束光学中简洁的ＡＢＣＤ定律出发，分析并获得了系统的特性曲线，这比采用几何光学方法得到的结果更实际情况。