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DX-3型扫描电镜整机故障分类及可靠性分析
作者:
唐圣明
来源:
电子显微学报
日期: 2023-08-19
人气:16
DX- 3型扫描电镜是中国科学院北京科仪厂生产的国内第一批扫描电镜,它的试制成功,在当时填补了国内空白,满足了国内许多科研及厂矿单位的急需。
关键词:
扫描电镜
故障分类
平均故障时间
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整机可靠性
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