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MEMS高g值加速度计力学分析

作者: 李仁锋 文贵印 程永生 来源:传感器技术 日期: 2023-07-28 人气:41
MEMS高g值加速度计力学分析
运用有限元软件ANSYS并结合刚度矩阵算法对一种高g值加速度计结构进行了应力分析和模态分析,得到了在50000gn值的冲击下加速度计的应力、最大位移、模态响应,表明该结构能够在高冲击环境下安全工作.
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