本文应用波动光学的原理，信寸论了眼及眼通过望远系统和显微系统瞄准时的瞄准筷差，给出了讨准铁差及分别使用清晰度法和消视差法的稠胶拱差表达式。该纽表达式具有简单、明了、便于应用的特点，它们与仪器的实际工作孔径密切相关，可以排除由于仪器的实际工孔径与标称孔径不一致而带来的计算澡差。

讨论了在微操纵系统中显微成像的自动调焦方法.首先介绍了一些常用的自动调焦方法,然后重点讲述了清晰度法自动调焦原理,对各种清晰度评价函数进行了分类,并通过理论和实验分析比较了在微操纵系统中各种评价函数的性能,最后确定了适合微操纵系统的清晰度评价函数.

介绍了利用光场控制中性原子束制作微细图形的基本原理.针对具体的实验系统,设计并建立了一套用于高真空系统中原子光刻样品的CCD显微观察装置,该装置以CCD相机实时采样通过计算机自动图像处理直接显示和输出样品的微结构信息.与传统装置相比,该装置在实验初期摸索实验工艺参数方面具有非常重要的作用.