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> 微型电子机械系统
一种新型电容微加速度计的设计与仿真
作者:
郑晓虎
朱荻
来源:
机械科学与技术
日期: 2023-07-10
人气:16
提出一种带有杠杆机构的电容检测微型加速度计。通过外来加速度使质量块经杠杆将力放大施加到弹性粱上产生位移、改变检测电容间距得到与加速度成比例的电压信号,从而测出加速度大小。研究表明:这种加速度计的灵敏度可明显提高。同时采用有限元方法进行了仿真模拟,结果显示系统测量范围可达100g、工作模态固有频率为209036Hz。
关键词:
微型电子机械系统
电容检测
加速度计
仿真模拟
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