建立了并联天平的静态标定数学模型，得出力雅可比矩阵标定的实质是求解超定线性方程组最小二乘解的结论。依据极小范数最小二乘解的摄动定理，确定了静态标定载荷选取的正交原则。研制出一种结构简单、调整方便、能同时实现6个分量加载的标定装置。运用单元加载和综合加载方法，标定出并联天平的准度、精度、线性度和分辨率等重要性能指标，标定结果表明该天平的研制是成功的。

相移器的相移误差包括平移误差与倾斜误差，使同一幅干涉图诸像素点的相移量并不相等，但仍然在同一平面上。据此，本文提出了消除相移器位移误差与倾斜误差的最小二乘迭代算法。通过对相移平面的最小二乘拟合，即可以消除相移器平移误差与倾斜误差对位相分布求解结果的影响。并通过数值模拟，验证了这种算法在消除相移器位移误差与倾斜影响上的有效性。