介绍一种可用于在线和在位检测的高分辨力激光轮廓仪。此仪器具有很 高的共模 抑制比和同类型仪器中最小的形状误差。分辨力优于0.2nm（Ra）。可以摆放在金刚 石车床的刀架上测量超精密加工表面微观形貌。

光切法是一种新型的三维表面轮廓的光电非接触测量方法，它主要有两个步骤：用ＣＣＤ获取物体表面的轮廓信息；重建三维实体。讨论了采用３ＤＡＰＩ实现三维重建的具体方法，并给出了实例。

基于激光波面干涉表面形貌测量原理，提出以偏振相移为基础的同步相移技术，研究具有抗振特性的精密表面激光波面干涉测量方案，以解决精密表面加工中的在线在机质量监测问题。介绍同步相移偏振干涉表面测量原理，分析其抗振抗环境干扰特性，构建测量系统实验装置，并完成测试实验。分析和测试实验结果验证了研究的同步相移激光波面干涉测量系统用于在线表面精密测量的良好适应性。