在Ｄ／ｍａｘｒｃ衍射仪上，经过改造平行光栏系统实现了Ｘｒａｙ平行光束衍射法，使粉末衍射仪能应用于纳米级厚膜层的物相鉴定．通过对不同样品应用常规（ＢｒａｇｇＢｒｅｎｔａｎｏ）聚集衍射法和所建立的新方法进行测试比较，结果表明，这种方法能够有效地对２０ｎｍ厚的镀膜层进行物相测定

巧用光学构件形成平行光束回转，使结构简单而小型化，脉冲检测采用次摆线扫描，缩短了检测时间，利用光一次回转周期的脉冲振荡模式，能识别被测元器件的不同表面缺陷（伤痕，裂纹，裂缝等）、分布密度及其交错状态。