为莫尔条纹的计数与细分提供了一种基于DSP(数字信号处理器)的高速软件解决方案。它能有效的解决传统系统中计数电路与细分功能不能无缝匹配的问题，提高测量的准确性。由于采用了高速信号处理和闪烁采样技术，采用该方案的系统能处理宽动态范围的莫尔条纹信号。提供的实例能对从直流到1MHz的莫尔条纹信号进行计数与细分，对于1μm光学分辨率的光栅测长系统来说，其相应的最高测量速度为1000mm/s,细分步长可以达到nm级。

提出以平面正交衍射光栅作为二维位移工作台计量标准器的方法,随工作台的移动,光栅能同时检测一个平面上两个方向的位移.阐述了正交衍射光栅作为位置检测元件的工作原理及其光路布置方法,二次衍射光线的两两迭加,形成两组干涉条纹信号,且这两组干涉条纹信号的相移与光栅两个正交方向的位移呈正比,通过光电转换和计数细分处理电路得到条纹信号的相移;检测光路布置在工作台下方,通过几组直角棱镜使干涉条纹信号进入光电探测器.实验分析了工作台的测量精度,有效分辨率提高到10nm.