STM系统的机械振动对STM系统图像的影响非常大。本文提出建立平坦表面的STM的轮廓测量数学模型和建立探针和样品扫描过程中产生的机械振动数学模型，以消除机械振动对STM系统图像的影响。得到更加真实的样品表面结构图像。