采用环行抛光技术是实现大尺寸、高面形精度和细表面粗糙度要求的方形或长方形平面元件批量化加工的一条有效途径.介绍了利用环行抛光工艺实际制作了两块320 mm×320 mm×35 mm和320 mm×320 mm×48 mm UBK7材料的工艺实验样品.加工结果是,透射元件获得了镀膜后双次透射波前0.293λ(P-V,λ=0.6328 um)和反射元部件的反射波前0.22λ(P-V,λ=0.6328 um)的结果.

在检验光路中,采用补偿透镜来补偿口径为φ500mm的非球面透镜的使用波长（λ=1053nm）与检测波长（λ=632.8nm）之间的色差。给出补偿透镜的求解方法,得到非球面透镜的补偿检验光路,并就非球面透镜的检验精度进行分析。通过精度分析可以看出,在此种补偿检验光路下,非球面透镜的透射波前PV不低于0.2λ（λ=632.8nm）,可满足元件的精度要求。