提出一种基于水银电容式加速度传感器的接口电路。从根本上解决加速度传感器在大冲击或恶劣环境下的测量数据难采集的问题。在此接口电路中,采用MS3110芯片对设计加工的电容式加速度计进行测试,通过单片机写入程序来控制该芯片,调节内部各参数,使MS3110工作在线性度和灵敏度最佳状态。实验结果表明,此接口电路具有很高的稳定性、灵敏度和线性度。该测量电路主要包括硬件设计和软件设计。该电路能够高精度测量微小电容,有很好的应用前景。

针对电容式传感器研发过程中缺乏有效的微小电容检测仪器的问题,设计了一种基于电容检测芯片MS3110的电容式传感器检测系统,给出了系统的硬件设计以及单片机和上位机部分的软件设计,并对系统的检测精度进行了测试。结果证明,该系统具有较高的检测精度。

三明治式电容微加速度计由于工艺等原因可能存在局部缺陷而影响其对称性，严重的将导致不能正常工作，通常的检测方法难以检测到该缺陷。设计了一种具有自检功能的微加速度计，能够方便的通过外部电路对自身结构进行对称性检测。采用MS3110芯片对设计加工的微加速度计进行测试，测试前使用单片机将程序写入该芯片，调节其内部参数。使之工作在良好的线性度及灵敏度状态。实验结果表明加工出的微加速度计具有较好的对称性。