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一种大范围高精度的光电测量装置研究

作者: 周秀云 程玉华 来源:半导体光电 日期: 2023-08-22 人气:13
一种大范围高精度的光电测量装置研究
为解决大尺寸测量的环境性和高精度性的矛盾问题,介绍了一种可用于工业现场大尺寸零件精密测量的装置。该装置以双纵模热稳频He-Ne激光器为光源,其拍频频率约为729MHz,拍频波长约412mm;以拍频波长为测量基准,拍频波节点(过零点)为对准标志,用粗估的方法获取整数倍拍频半波长的长度,用组合于同一光路中的分系统激光干涉仪(分辨率为0.08μm)测量最邻近节点到被测点的尾数长度。测试表明,此装置具有很好的环境适应性和同类仪器中最高的频差稳定度。整个测量系统可在0~20m范围内工作。测量不确定度优于±30μm/10m。

双纵模激光拍频干涉仪的研究

作者: 周肇飞 张涛 朱目成 尹伯彪 来源:中国激光 日期: 2023-08-09 人气:15
双纵模激光拍频干涉仪的研究
介绍了一种可对大尺寸工件进行无导轨精密测量的系统.以有高稳定性和强抗干扰能力(室外可达10.)的双纵模热稳频He-Ne激光器为光源,其拍频约为790 MHz,拍频波长约376μm;以节点为对准标志,最邻近节点到被测点的间距用组合于同一光路中的分系统激光干涉仪测量,分辨率为0.08 μm.采用自适应滤波和小波运算大幅度地降低了光电信号噪声,并强化波形.测试表明,测量的不确定度优于30 μm/10 m,整个测量系统可在0~20 m范围内工作.
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