提出了基于相干波面光强分布的静态干涉图数字处理的新方法,即在CQG-Ⅱ型激光数字波面干涉仪上通过分别微调参考镜和被测镜的倾斜量,在CCD探测器上获得形成静态干涉图的两幅相干波面光强分布图,利用这两幅光强分布图与它们所形成的干涉图,可高精度地完成静态干涉图的数字分析.利用相干原理,给出了实现该方法的基本过程,并编程实现了该数字分析,获得了实验测量结果.通过与相移测量结果相比较,验证该方法对口径为60mm的平面有望达到的测量精度.

介绍了一种大相对口径非球面精磨阶段面形的测量方法原理及实现其功能的软件设计.利用机械接触式装置,通过长导轨及其光栅探头的高度变化来直接测量非球面的矢高,并把所测得的三维数据传输给计算机.经数据修正和预处理,通过MATLAB软件计算得到整个镜子的面形特征参数.其结果用来指导大口径非球面的精磨加工.