针对气浮隔振平台的振动隔离特性评估,建立隔振平台的力学模型,获得刚度-阻尼并联的两参数模型的传递特性。设计一套微振动测量评估系统,测量流程为:冲击锤激励隔振平台,低频微振动加速度传感器测量地面和隔振台面微小振动加速度值,MI-7208型智能便携式数据采集仪实时采集振动数据,通过配套的专业隔振平台特性分析软件处理得到隔振平台的固有频率和隔振效果等指标。试验结果表明:气浮隔振平台振动衰减可达25 dB;其水平和垂直方向固有频率均在2 Hz附近,与设计参数吻合。

该文介绍了一种用半导体激光器构建微型迈克尔逊干涉仪的方法.这种方法能应用于微振动的精确测量.实验证明,用这种方法构建的微振动传感器体积小、质量轻、价格便宜,并且具有很高的灵敏度和准确度.

为了测量振幅小于1μm的微振动信号，在传统迈克尔逊干涉仪的基础上，提出了一种大光程差情况下的实时高精度测量系统。该系统使用单频窄线宽光纤激光器来减小长光程差下的相位噪声影响；用零差解调方法来抑制环境影响导致的相位漂移；双路平衡检测的使用将光源强度噪声降低16dB左右。当测量距离为10m时，光源引起的相位噪声仅为5.28×10^-6 rad／Hz^1/2；但由于电路处理上的限制，实际可探测的最小灵敏度约为10^-5rad／Hz^1/2，当被测信号在100Hz-4kHz之间时，系统具有良好的线性响应度。