实现集设计、加工及运行等整个过程的计算机仿真为一体的微机电系统的计算机辅助设计是微机电系统真正走向商品化的重要基础．系统级仿真是MEMS CAD最为关键的重要环节．概括了MEMS CAD的体系结构；着重介绍了适合于MEMS系统级仿真的两个基本模型的基本思想、构造方法．提出用加权残值法(MWR)建立MEMS系统级仿真模型；论述MEMS系统级仿真的MWR建模原理与方法．提出运用演化算法进行自动化、智能化建模的基本思想．