本文论述了扫描力显微镜中的点衍射干涉现象，论证了硅微探针可以作为后向点衍射板并用于检测微探针变位的光学原理。根据这一原理设计了一种新型灵巧的扫描力显微镜，它具有量争孤抗干扰稳定优质的光电信号，理论分析及实时表明，该扫描力显微镜具有０．０１ｎｍ的纵向分辨率，５ｎｍ左右的横向分辨率。

论述了一种新颖的原子力显微镜,它利用硅微探针的特殊结构和相关光学系统所引起的点衍射干涉现象[1]来扫描成像,因为硅微探针被用作反射型点衍射板,故光路完全共路,再结合锁相检测技术,使得该仪器抗干扰力极强且结构精巧紧凑,可适用于测试软硬不同材料样品,对软质高分子膜材料检测得到了实际的链状结构.

提出一种用光纤实现点衍射干涉的方法，由两根光纤分别传输参考光和测试光，利用单模光纤的小纤芯所产生的高质量衍射球面波进行超精面形的测量。与传统的干涉仪相比，该方法结构相对简单，误差来源少,且不需要传统干涉仪中的高质量标准面，而是由光纤提供高精度的参考波面。