介绍由激振控制系统、数字存储示波器和计算机等组成的硅加速计幅频行性全自动采集处理的硬件系统和软件技术，并利用这套系统对TJA型仪表级加速度计进行了大量的采集标定。

简要介绍了利用硅的各向异性腐蚀工艺研制的非整体膜结构的敏感硅芯片,较详细地报告了用此硅芯片封装成的加速度敏感元件,最后介绍这种加速度计的优良性能.

介绍了各种类型的微机械硅加速度计的工作原理及特性,通过比较各类型硅加速度计的优劣,提出了高灵敏度硅加速度计的设计思路及实现方法.